激光3D共聚焦（蔡司 LSM 900）上线通知

主要用途：可用于观察样品微区形貌表征，如材料的表面二维高分辨显微、3D表面形貌及景深叠加、阶跃高度、粗糙度，孔体积及面积等。

主要技术指标：

（1）电动扫描台：台面尺寸≥310mm x 220mm，行程≥130 mm x 85 mm ，最大移动速度不小于25 mm/s，分辨率不低于0.1um；

（2）显微镜Z方向步进精度不小于10nm；

（3）激光器组成：配有405 nm激光器，功率不低于3mw；

（4）扫描分辨率下限32x1，最高不低于6144x6144，可连续调节，最大扫描分辨率不小于3700万像素。

设备联系人：柳后起，13914092047，liuhq@ustc.edu.cn。