公共实验中心设备推介（七）-扫描电子显微镜

仪器中文名：扫描电子显微镜

仪器型号：Thermo Apreo 2S

存放房间号：仁爱路校区明德楼C105a

仪器管理员：徐蔚  valshyu@ustc.edu.cn

                   李潇  lixiao01@ustc.edu.cn

主要功能：

可以完成各种样品微观形貌分析、粒度分析、微区化学元素分析和未知材料的物相鉴定；实现各种材料(如结构材料、功能材料、纳米材料和生物材料等)的微观力学行为的动态测量。

主要参数：

1.分辨率：0.5nm@15kV；0.8nm@1kV；0.8nm@500V

2.加速电压范围：200V – 30kV

3.着陆电压：200eV–30keV

4.探针电流范围：1pA-50nA

5.工作距离：10mm

6.放大倍数：≤1000，000倍

7.调节步长：最小可达每档1V连续可调

8.扫描方式：全屏、选区、水平线、点、二分屏和四分屏

9.光栅扫描：电子束驻留时间25ns至25ms/像素

10.配备EDS能谱：电制冷硅漂移能谱探测器

仪器主要应用：

1.微纳尺度高分辨形貌观测：可实现粉体、薄膜、陶瓷、金属等各类材料微观形貌与纳米尺度结构的表征，获取样品表面微观结构信息。

2.微区元素与物相成分分析：可实现样品微观形貌观察与微区元素组成、元素分布的定性与半定量分析。

3.半导体器件缺陷与工艺表征：可实现半导体、微纳加工器件的微观结构观测、关键尺寸测量与缺陷定位，支撑器件工艺评估与失效机理研究。